Front-end modul pro wafer 300 mmBROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm
BROOKS ASYST
Spartan EFEM Sorter
pevná cena bez DPH
59 750 €
Rok výroby
2010
Stav
Použitý
Umístění
Dresden 

Zobrazit fotky
Zobrazit mapu
Údaje o stroji
- Popis stroje:
- Front-end modul pro wafer 300 mm
- Výrobce:
- BROOKS ASYST
- Model:
- Spartan EFEM Sorter
- Rok výroby:
- 2010
- Stav:
- použitý
Cena a lokalita
pevná cena bez DPH
59 750 €
- Umístění:
- Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Volejte
Podrobnosti nabídky
- ID výpisu:
- A20798077
- Referenční č.:
- LW43278
- Naposled aktualizováno:
- 19.12.2025
Popis
Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter
Model: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Stav: Použitý
Technické údaje:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Iedpox I Ax Sjfx Af Rsik
Obecné informace:
300mm EFEM se 3 nakládacími porty, čistotním mini-environmentem a integrovaným robotem pro manipulaci s wafery
Toto zařízení je Equipment Front End Module (EFEM) řady ASYST Spartan, navržený pro plně automatizovanou manipulaci s 300mm křemíkovými wafery ve výrobě polovodičů.
Disponuje třemi nakládacími porty, mini-environmentem s ULPA vzduchovými filtry, vnitřním osvětlením, komplexními bezpečnostními systémy a veškerými potřebnými rozhraními pro integraci do výrobní linky.
Dále je vybaven plně integrovaným wafer transfer robotem, který odebírá wafery z FOUP/kazetových portů, odděluje je a přesně předává dalším procesním modulům.
Rok výroby: 27.12.2010
Včetně CD s uživatelským, servisním a instalačním manuálem (9701-3060-01 Rev G)
Inzerát byl přeložen automaticky a mohou se vyskytnout chyby překladů.
Model: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Stav: Použitý
Technické údaje:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Iedpox I Ax Sjfx Af Rsik
Obecné informace:
300mm EFEM se 3 nakládacími porty, čistotním mini-environmentem a integrovaným robotem pro manipulaci s wafery
Toto zařízení je Equipment Front End Module (EFEM) řady ASYST Spartan, navržený pro plně automatizovanou manipulaci s 300mm křemíkovými wafery ve výrobě polovodičů.
Disponuje třemi nakládacími porty, mini-environmentem s ULPA vzduchovými filtry, vnitřním osvětlením, komplexními bezpečnostními systémy a veškerými potřebnými rozhraními pro integraci do výrobní linky.
Dále je vybaven plně integrovaným wafer transfer robotem, který odebírá wafery z FOUP/kazetových portů, odděluje je a přesně předává dalším procesním modulům.
Rok výroby: 27.12.2010
Včetně CD s uživatelským, servisním a instalačním manuálem (9701-3060-01 Rev G)
Inzerát byl přeložen automaticky a mohou se vyskytnout chyby překladů.
Poskytovatel
Poznámka: Zaregistrujte se zdarma nebo se přihlaste, abyste získali všechny informace.
Registrován(a) od: 2014
Telefon & Fax
+49 351 8... inzeráty
Váš inzerát byl úspěšně smazán
Došlo k chybě



































