Front-end modul pro wafer 300 mm
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

pevná cena bez DPH
59 750 €
Rok výroby
2010
Stav
Použitý
Umístění
Dresden Německo
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Front-end modul pro wafer 300 mm BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter
Zobrazit fotky
Zobrazit mapu

Údaje o stroji

Popis stroje:
Front-end modul pro wafer 300 mm
Výrobce:
BROOKS ASYST
Model:
Spartan EFEM Sorter
Rok výroby:
2010
Stav:
použitý

Cena a lokalita

pevná cena bez DPH
59 750 €

Umístění:
Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland Německo
Volejte

Podrobnosti nabídky

ID výpisu:
A20798077
Referenční č.:
LW43278
Naposled aktualizováno:
19.12.2025

Popis

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Model: ASYST Spartan EFEM
Typ: Sorter
Stav: Použitý

Technické údaje:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Iedpox I Ax Sjfx Af Rsik

Obecné informace:
300mm EFEM se 3 nakládacími porty, čistotním mini-environmentem a integrovaným robotem pro manipulaci s wafery

Toto zařízení je Equipment Front End Module (EFEM) řady ASYST Spartan, navržený pro plně automatizovanou manipulaci s 300mm křemíkovými wafery ve výrobě polovodičů.

Disponuje třemi nakládacími porty, mini-environmentem s ULPA vzduchovými filtry, vnitřním osvětlením, komplexními bezpečnostními systémy a veškerými potřebnými rozhraními pro integraci do výrobní linky.

Dále je vybaven plně integrovaným wafer transfer robotem, který odebírá wafery z FOUP/kazetových portů, odděluje je a přesně předává dalším procesním modulům.

Rok výroby: 27.12.2010
Včetně CD s uživatelským, servisním a instalačním manuálem (9701-3060-01 Rev G)

Inzerát byl přeložen automaticky a mohou se vyskytnout chyby překladů.

Poskytovatel

Registrován(a) od: 2014

500 Inzeráty online

Trustseal Icon

Telefon & Fax

+49 351 8... inzeráty